Arイオン研磨装置 Arイオンミリング装置の性能比較表 PIPSGATAN M-691 PIPS ⅡGATAN M-695 Nano MillFischione M-1040 イオンスライサJEOL M-09100 IS イオン加速電圧 100 eV ~6 keV 100 eV ~8 keV 50 eV ~2 keV 1~8 keV イオンビーム直径 最小 350 µm 最小 350 µm 最小 4 µm 500 µm イオンビーム電流 最高 10mA/cm2 最高 10mA/cm2 最高 8mA/cm2 イオン電流 305μA(8keV) ミリング角度範囲 0 ~±10° 0 ~±10° -10°~+30° 最大±6°(0.1°ステップ) 試料形状 3mmφ or 2.3mmφの円盤 3mmφの円盤 3mmφの円盤又は 5×10mm 以上の薄片 長さ2.8×幅0.5×厚さ0.1mmの短冊型 FIBのダメージ除去 - 〇 〇 - planview試料の観察 〇 〇 - cross-section試料の観察 △ △ - 〇