設備一覧
電子顕微鏡
| 装置名 | 型番 | 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
XEDS (mapping機能) |
EELS | 備 考 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| TEM ／ STEM |
超高圧電子顕微鏡 | JEM-1300NEF | 400,600,800,1000,1250 | 〇 | Ω型 | レーザーパルス照射装置付き |
| 新高分解能電子顕微鏡 | JEM-ARM300F2 | 80,200,300 | 〇 | × | 照射系＋結像系 二段収差補正 | |
| 広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 | JEM-ARM200CF | 30, 60, 80, 120, 200 | 〇 | GIF | 照射系＋結像系 二段収差補正 | |
| 収差補正走査/透過電子顕微鏡 | JEM-ARM200F | 60, 80, 120, 200 | 〇 | GIF | 照射系＋結像系 二段収差補正 | |
| 汎用電子顕微鏡 | JEM-2100F | 120, 160, 200 | 〇 | × | ||
| TEM | ホログラフィー電子顕微鏡 | HF-3300X | 100-300 | × | GIF | |
| HC補助電子顕微鏡 | JEM-2100HC | 100,120,200 | × | × | ||
| SEM | マイクロカロリメーター分析SEM | TES+ULTRA55 | 0.1-30 | 〇 | × | SEM専用機 検出器4個（二次電子用:2 反射電子用:2） |
試料作製装置
| 装置名 | 型番 | 機能・性能 |
|---|---|---|
| イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置 | Helios 5 UX | 断面加工・観察、TEM試料作製、3D-SEM/EBSD、大気非曝露試料冷却ステージ、自動試料作製 |
| 直交型FIB-SEM | MI4000L | 断面加工・観察、TEM試料作製、3D-SEM/EDSが可能 |
| デュアルビームFIB | Quanta 3D 200i | 目的の試料位置でのW, Cデポとサンプリングが可能 観察+FIB加工 |
| Arイオン研磨装置 | GATAN PIPS M-691 | 円盤状電顕試料の作製 低角度イオン照射 低加速電圧での研磨 |
| GATAN PIPSⅡ M-695 | ||
| Fischione NanoMill Model1040 | アモルファス層や注入層のない試料を作製 FIB加工後の処理に最適 |
|
| JEOLイオンスライサ EM-09100 IS | Arイオン照射による薄膜試料作製 板状試料を薄片化 広い視野を薄膜化できる |
|
| マイクロカッター （ダイアモンド・ソー） |
BUEHLER Isomet 11-1280-170 | バルク試料の切断加工 微細粒子ダイアモンドを付けた丸鋸を回転して切断 |
| 超音波カッター | Gatan Model 601 | バルク素材やセラミックスの板から3mmの円盤を切り出す 筒状の切断ツールを使用し、細粒度の炭化ホウ素スラリーで切り抜き |
| ディンプル・グラインダー | Gatan NISSEI Model 656N | 3mmの円盤状試料に凹みを付ける Arイオンポリッシングの前処理 ダイアモンドやコランダム微細粒で機械的に研磨 |
| VCR GROUP Incorporated D500i | ||
| プラズマクリーナー | SolarusⅡ Gatan Model955 |
プラズマスパッタリングによる試料表面汚染物質の除去 |
| 真空蒸着装置 | SANYU SVC-700TURBO-TM | 真空蒸着による試料作製 表面コーティング 電顕絞りのクリーニングなど ベルジャーが大きいのでいろいろな用途に使用できる |
| カーボンコーター | JEC 560 | 絶縁物のTEM・SEM観察の前処理 絶縁試料表面にカーボンをコーティングして導電性を付与 |
| EC 32010CC | ||
| 真空表面コーティング装置 | JFC 1600 | 絶縁物のTEM・SEM観察の前処理 絶縁試料表面にカーボンをコーティングして導電性を付与 |
| 親水化処理装置 | DⅡ-29020HD | TEM支持膜表面の親水化 SEM用試料支持台の親水化 ウルトラミクロトーム用ダイヤモンドナイフ刃先の親水化 |
周辺機器(記録・解析装置)
画像記録・再生など
| 装置名 | 型式 | 使用目的 | 機能・性能 |
|---|---|---|---|
| IP画像読み取り・再生装置 | DITABIS micron | イメージング・プレートに撮影した電顕画像の読み出し | ダイナミックレンジ：5桁 |
画像解析、データ解析ソフトなど
| ソフト名 | 使用パソコン | 機能・性能 |
|---|---|---|
| Mac Tempas X | Mac | 高分解能格子像および電子回折パターンのシミュレーション |
| Crystal Kit | Mac | 結晶構造描画 |
| jems | Dell, HP | 高分解能格子像および（収束）電子回折パターンのシミュレーション |
| ICDD View 2018 | EPSON(Endeavor) | 以前のJCPDS 国際的結晶学データベース. 電子回折パターンでの表示も可能 |
| Crystal Maker, Crystal diffract |
EPSON(Endeavor) | 結晶構造、回折パターンの描画 |
| Crystal Studio | EPSON(Endeavor) | 結晶構造描画 |
| Temography | EPSON(Endeavor) | 3次元トモグラフィの再構築および可視化 |
| Inspect3D | EPSON(Endeavor) | 3次元トモグラフィの再構築 |
| Amira | EPSON(Endeavor) | 3次元トモグラフィの再構築および可視化 |
| Composer, Visualizerkai 64bit |
EPSON(Endeavor) | 3次元トモグラフィの再構築および可視化 |