設備一覧

電子顕微鏡

装置名 型番 加速電圧
最低- 最高 (kV)
XEDS
(mapping機能)
EELS 備 考
TEM

STEM
超高圧電子顕微鏡 JEM-1300NEF 400,600,800,1000,1200 Ω型 レーザーパルス照射装置付き
広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 JEM-ARM200CF 30, 60, 80, 120, 200 GIF 照射系+結像系 二段収差補正
収差補正走査/透過電子顕微鏡 JEM-ARM200F 60, 80, 120, 200 GIF 照射系+結像系 二段収差補正
3次元観察用電子分光型電子顕微鏡 JEM-3200FSK 300 Ω型  
ローレンツ電子顕微鏡 TECNAIG2-F20 100-200 × 筑紫地区
デジタル電子顕微鏡 TECNAI-20 100-200 ×  
TEM ホログラフィー電子顕微鏡 HF-3300X 100-300 × GIF  
HC補助電子顕微鏡 JEM-2100HC 100,120,200 × ×   
補助電子顕微鏡EX JEM-2000EX 80-200 × ×  
SEM マイクロカロリメーター分析SEM TES+ULTRA55  0.1-30 × SEM専用機
検出器4個(二次電子用:2 反射電子用:2)

各電顕の性能・機能比較(PDF)

試料作製装置

装置名 型番 機能・性能
デュアルビームFIB Quanta 3D 200i  目的の試料位置でのW, Cデポとサンプリングが可能
観察+FIB加工
Arイオン研磨装置 GATAN PIPS M-691 円盤状電顕試料の作製
低角度イオン照射
低加速電圧での研磨
GATAN PIPSⅡ M-695
Fischone TEM Mill    Model 1050
Fischone NanoMill    Model 1040 アモルファス層や注入層のない試料を作製
FIB加工後の処理に最適
JEOLイオンスライサ EM-09100 IS  Arイオン照射による薄膜試料作製
板状試料を薄片化
広い視野を薄膜化できる
マイクロカッター
(ダイアモンド・ソー) 
BUEHLER Isomet 11-1280-170 バルク試料の切断加工
微細粒子ダイアモンドを付けた丸鋸を回転して切断
超音波カッター Gatan Model 601 バルク素材やセラミックスの板から3mmの円盤を切り出す
筒状の切断ツールを使用し、細粒度の炭化ホウ素スラリーで切り抜き
ディンプル・グラインダー Gatan NISSEI Model 656N 3mmの円盤状試料に凹みを付ける
Arイオンポリッシングの前処理
ダイアモンドやコランダム微細粒で機械的に研磨
VCR GROUP Incorporated D500i
プラズマクリーナー South Bay Tech. PC-2000  プラズマイオンによる表面汚染物質の除去
電顕試料の表面クリーニングにより観察中の汚染を抑制
親水化処理
真空蒸着装置 SANYU SVC-700TURBO-TM 真空蒸着による試料作製
表面コーティング
電顕絞りのクリーニングなど
ベルジャーが大きいのでいろいろな用途に使用できる
カーボンコーター JEC 560 絶縁物のTEM・SEM観察の前処理
絶縁試料表面にカーボンをコーティングして導電性を付与
EC 32010CC
真空表面コーティング装置 JFC 1600 絶縁物のTEM・SEM観察の前処理
絶縁試料表面にカーボンをコーティングして導電性を付与
親水化処理装置 DⅡ-29020HD TEM支持膜表面の親水化
SEM用試料支持台の親水化
ウルトラミクロトーム用ダイヤモンドナイフ刃先の親水化

周辺機器(記録・解析装置)

画像記録・再生など

装置名 型式 使用目的 機能・性能
IP画像読み取り・再生装置 DITABIS micron イメージング・プレートに撮影した電顕画像の読み出し ダイナミックレンジ:5桁

画像解析、データ解析ソフトなど

ソフト名 使用パソコン 機能・性能
Mac Tempas X Mac 高分解能格子像および電子回折パターンのシミュレーション
Crystal Kit Mac 結晶構造描画
jems Dell, HP 高分解能格子像および(収束)電子回折パターンのシミュレーション
ICDD View 2018 EPSON(Endeavor) 以前のJCPDS 国際的結晶学データベース.
電子回折パターンでの表示も可能
Crystal Maker,
Crystal diffract
EPSON(Endeavor) 結晶構造、回折パターンの描画
Crystal Studio EPSON(Endeavor) 結晶構造描画
Temography EPSON(Endeavor) 3次元トモグラフィの再構築および可視化
Inspect3D EPSON(Endeavor) 3次元トモグラフィの再構築
Amira EPSON(Endeavor) 3次元トモグラフィの再構築および可視化
Composer,
Visualizerkai 64bit
EPSON(Endeavor) 3次元トモグラフィの再構築および可視化
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