集束イオンビーム（FIB：Quanta）SEM部分の不具合➝復旧しました

2021年08月19日

※8月3日付で下記のようにお知らせしておりましたが、
復旧いたしましたのでお知らせいたします。
どうぞご利用ください。

現在、集束イオンビーム（FIB：Quanta）のSEM部分が不調でFIB部分のみしか使えません。
FIB部分のみの使用は可能です。
ご迷惑をおかけして申し訳ございませんが、ご予約の際はその旨ご了承の上、お申し込みください。

SEM部分復旧の時期はわかり次第Ｗｅｂ上にてお知らせいたします。