新FIB(Helios 5 UX)共同利用開始のお知らせ

2023年08月23日

当センターでは９月４日(月)より最新のFIB-SEM装置の共同利用（※）を開始します。

「イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置」
Thermo Fisher Scientific社製　Helios 5 UX DualBeam

※文科省・マテリアル先端リサーチインフラ事業で導入した設備ですが、
通常の学内利用の形態でもお使い頂けます。

この装置は、大気非曝露試料冷却ステージ、EBSDを搭載し、
また全自動での試料作製が可能となっています。
学内利用料金は1枠(4時間)　24,000円です。

既存のデュアルビームFIB（Quanta 3D 200i）、直交型FIB-SEM（MI4000L）に加え
3台目のFIBとなりますが、各装置の特性に応じて使い分けていただけますと幸いです。
FIB性能比較（Helios・MI4000L・Quanta）（PDF）

よろしくお願い申し上げます。