位相イメージング・分析電子顕微鏡
位相イメージング・分析電子顕微鏡
JEM-ARM200F NEOARM
冷電界放射電子銃、収差補正機能を装備した原子分解能電子顕微鏡．補正対応加速電圧 80, 120, 200 kV．
直接電⼦検出型検出器(Gatan K3 カメラおよび DECTRIS ARINA ハイブリットピクセルカメラ)を搭載．
TEM、STEM、電⼦線回折による基本解析機能（構造解析・形態観察）の他、EDS による 組成分析、4D-STEM モードでのデータ取得、電⼦線ホログラフィーによる電場・磁場の 計測が可能
| 設置場所 | 伊都・CE21 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
80,120,200 | |
| 電子銃 | C-FEG*² | |
| 収差補正 | 照射系＋結像系 （CEOS社製収差補正器） |
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| TEM像分解能(nm) | （粒子）0.11 nm （格子）0.07 nm |
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| STEM | 分解能 | 0.08 nm |
| HAADF | 〇 | |
| ABF | 〇 | |
| 4D-STEM | 〇 | |
| XEDS | 検出器の種類 | SDD |
| 検出器搭載数 | 2本 | |
| エネルギー分解能 | 130 eV | |
| TEM撮影用カメラ | 直接電子検出型カメラ （GatanK3カメラ） |
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| 電子線ホログラフィー | 〇 （2段バイプリズム仕様） |
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| 3Dトモグラフィ | ○ | |
| 2軸試料ホルダー 傾斜角（度） |
X,Y:±27 | |
| 各種電子回折 （CBED・NBD） |
〇 | |
| 備 考 | ・EELSはできません ・対物レンズをoffの状態でも収差補正可能 |
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