汎用電子顕微鏡
汎用電子顕微鏡
JEM-2100F
| 設置場所 | 伊都・CE21 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
200（120,160 要相談） | |
| 電子銃 | T-FEG | |
| TEM像分解能(nm) | 0.23 point 0.1 lattice |
|
| STEM | 最小プローブ径 | － |
| HAADF | ○ | |
| ABF | － | |
| XEDS | 検出器の種類 | SDD |
| 立体角 | 0.3sr | |
| エネルギー分解能 | 130eV | |
| EELS型 | － | |
| 3Dトモグラフィ | － | |
| 試料傾斜角（度） | X:±36 Y:±31 |
|
| 収束電子回折 | － | |
| 備 考 | ||