新高分解能電子顕微鏡
新高分解能電子顕微鏡
JEM-ARM300F2
| 設置場所 | 伊都・CE21 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
80,200,300 | |
| 電子銃 | C-FEG | |
| TEM像分解能(nm) | 0.060 nm | |
| STEM | 最小プローブ径 | 0.059 nm |
| HAADF | 〇 | |
| ABF | 〇 | |
| XEDS | 検出器の種類 | SDD |
| 立体角 | 1.1 sr | |
| エネルギー分解能 | 130 eV | |
| EELS型 | - | |
| 3Dトモグラフィ | ○ | |
| 試料傾斜角（度） | X:±37, Y:±31 | |
| 収束電子回折 | 〇 | |
| バイプリズム | 〇 | |
| 備 考 | 照射系＋結像系 二段収差補正 |
|