デュアルビームFIB / 直交型FIB-SEM
デュアルビームFIB FEI Quanta 3D 200i
直交型FIB-SEM
| デュアルビーム FIB Quanta 3D 200i (ThermoFisher Scientific) |
直交型 FIB-SEM MI4000L (Hitachi High Technologies) |
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| SEM | 電子銃 | 熱電子放出型 (W) | ショットキー放出型 (ZrO/W) |
|---|---|---|---|
| 加速電圧 | 0.5 kV - 30 kV | 0.1 kV - 30 kV | |
| 検出器 | SE 検出器 | Upper SE 検出器 | |
| - | Lower SE | ||
| - | EsB 検出器 | ||
| - | STEM 検出器 | ||
| FIB | イオン源 | Ga 液体金属イオン源 | Ga 液体金属イオン源 |
| 加速電圧 | 2 kV - 30 kV | 1 kV - 30 kV | |
| 最大ビーム電流 | 65 nA | 90 nA | |
| FIB-SEM 幾何学配置 | V字型 傾斜配置 (52 度) | L字型 直交配置 (90 度) | |
| GIS | タングステン, カーボン | タングステン, カーボン | |
| 最大試料サイズ | 100 x 50 x 50 mm | 4 x 4 x 2 mm | |
| マイクロプローブ | Omni Probe | Kleindiek | |
| 低加速イオン源 | - | Ar | |
| 連続断面加工3次元構造構築 | - | 日立 Cut & See | |
| XEDS 元素分析 | - | Oxford X-MaxN 150mm2 XEDS | |
| クライオ システム | Quorum Technologies PolarPrep 2000 | 日立 サイドエントリー クライオホルダー | |