デュアルビームFIB / 直交型FIB-SEM

デュアルビームFIB FEI Quanta 3D 200i
直交型FIB-SEM

デュアルビームFIB FEI Quanta 3D 200i
直交型FIB-SEM
  デュアルビーム FIB
Quanta 3D 200i (ThermoFisher Scientific)
直交型 FIB-SEM
MI4000L (Hitachi High Technologies)
SEM 電子銃 熱電子放出型 (W) ショットキー放出型 (ZrO/W)
加速電圧 0.5 kV - 30 kV 0.1 kV - 30 kV
検出器 SE 検出器 Upper SE 検出器
- Lower SE
- EsB 検出器
- STEM 検出器
FIB イオン源 Ga 液体金属イオン源 Ga 液体金属イオン源
加速電圧 2 kV - 30 kV 1 kV - 30 kV
最大ビーム電流 65 nA 90 nA
FIB-SEM 幾何学配置 V字型 傾斜配置 (52 度) L字型 直交配置 (90 度)
GIS タングステン, カーボン タングステン, カーボン
最大試料サイズ 100 x 50 x 50 mm 4 x 4 x 2 mm
マイクロプローブ Omni Probe Kleindiek
低加速イオン源 - Ar
連続断面加工3次元構造構築 - 日立 Cut & See
XEDS 元素分析 - Oxford X-MaxN 150mm2 XEDS
クライオ システム Quorum Technologies PolarPrep 2000 日立 サイドエントリー クライオホルダー
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