マイクロカロリメーター分析SEM

マイクロカロリメーター分析SEM
TES+ULTRA55

マイクロカロリメーター分析SEM TES+ULTRA55 低加速電圧走査電子顕微鏡(Zeiss ULTRA55, 加速電圧0.1~30kV)に超伝導マイクロカロリーメーターX線検出器を搭載.
バルク材料の表面状態・元素分析 高いX線エネルギー分解能~10eV(at6keV)により、多成分系物質の高度な元素同定が可能、汎用の半導体SDD検出器も装着
設置場所 伊都・CE21
加速電圧
最低- 最高 (kV)
0.1-30
電子銃 T-FEG
TEM像分解能(nm) 1.0-4.0
SEM像
STEM 最小プローブ径
HAADF
ABF
XEDS 検出器の種類 超伝導TES   Si
立体角 0.0022 sr 0.026 sr
エネルギー分解能 20 eV 130 eV
EELS型
3Dトモグラフィ
試料傾斜角(度) T:-3~70
R:360
収束電子回折
備 考 SEM専用機
TES使用は液体Heが必要

対応ホルダー一覧(PDF)

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