マイクロカロリメーター分析SEM
マイクロカロリメーター分析SEM
TES+ULTRA55
低加速電圧走査電子顕微鏡（Zeiss ULTRA55, 加速電圧0.1～30kV)に超伝導マイクロカロリーメーターＸ線検出器を搭載．バルク材料の表面状態・元素分析 高いＸ線エネルギー分解能～10eV(at6keV)により、多成分系物質の高度な元素同定が可能、汎用の半導体SDD検出器も装着
| 設置場所 | 伊都・CE21 | ||
|---|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
0.1-30 | ||
| 電子銃 | T-FEG | ||
| TEM像分解能(nm) | 1.0-4.0 SEM像 |
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| STEM | 最小プローブ径 | － | |
| HAADF | － | ||
| ABF | － | ||
| XEDS | 検出器の種類 | 超伝導TES | Si |
| 立体角 | 0.0022 sr | 0.0833 sr | |
| エネルギー分解能 | 20 eV | 127 eV | |
| EELS型 | － | ||
| 3Dトモグラフィ | － | ||
| 試料傾斜角（度） | T:-3～70 R:360 |
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| 収束電子回折 | － | ||
| 備 考 | SEM専用機 TES使用は液体Heが必要 |
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