収差補正走査/透過電子顕微鏡
収差補正走査/透過電子顕微鏡
JEM-ARM200F
照射レンズ系、結像レンズ系のそれぞれに収差補正機能を装備した原子分解能電子顕微鏡．補正対応加速電圧 60, 80, 120, 200kV．
世界最高感度のSDD型X線検出器（立体角0.8sr)と電子エネルギーフィルター（GIF Quantum)を装備
| 設置場所 | 伊都・CE21 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
60,80,120,200 | |
| 電子銃 | T-FEG*¹ | |
| TEM像分解能(nm) | 0.11 point 0.10 lattice |
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| STEM | 最小プローブ径 | 0.2 nm |
| HAADF | 〇 | |
| ABF | 〇 | |
| XEDS | 検出器の種類 | SDD |
| 立体角 | 0.8 sr | |
| エネルギー分解能 | 130 eV | |
| EELS型 | Gatan Imaging Filter | |
| 3Dトモグラフィ | － | |
| 試料傾斜角（度） | X,Y:±25 | |
| 収束電子回折 | 〇 | |
| 備 考 | 照射系＋結像系 二段収差補正 |
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