広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡
広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡
JEM-ARM200CF
冷電界放射電子銃、収差補正機能を装備した原子分解能電子顕微鏡.
補正対応加速電圧 30, 60, 80, 120, 200 kV.
大口径SDD型X線検出器(立体角2.0 sr)と電子エネルギーフィルター(GIF Quantum)を装備.
ナノ粒子や炭素系などの軽元素材料の高分解能観察・解析・原子分解能STEM-BF, ABF, HAADF像観察、高分解能元素マッピング、電子状態解析が可能
補正対応加速電圧 30, 60, 80, 120, 200 kV.
大口径SDD型X線検出器(立体角2.0 sr)と電子エネルギーフィルター(GIF Quantum)を装備.
ナノ粒子や炭素系などの軽元素材料の高分解能観察・解析・原子分解能STEM-BF, ABF, HAADF像観察、高分解能元素マッピング、電子状態解析が可能
設置場所 | 伊都・CE21 | |
---|---|---|
加速電圧 最低- 最高 (kV) |
30,60,80,120,200 | |
電子銃 | C-FEG*² | |
TEM像分解能(nm) | 0.11 point 0.10 lattice |
|
STEM | 最小プローブ径 | 0.1 nm |
HAADF | 〇 | |
ABF | 〇 | |
XEDS | 検出器の種類 | SDD |
立体角 | 2.0 sr | |
エネルギー分解能 | 130 eV | |
EELS型 | Gatan Imaging Filter | |
3Dトモグラフィ | ○ | |
試料傾斜角(度) | X,Y:±25 | |
収束電子回折 | 〇 | |
備 考 | 照射系+結像系 二段収差補正 |