広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡
広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡
JEM-ARM200CF
冷電界放射電子銃、収差補正機能を装備した原子分解能電子顕微鏡．補正対応加速電圧 30, 60, 80, 120, 200 kV．
大口径SDD型X線検出器（立体角2.0 sr）と電子エネルギーフィルター（GIF Quantum）を装備．
ナノ粒子や炭素系などの軽元素材料の高分解能観察・解析・原子分解能STEM-BF, ABF, HAADF像観察、高分解能元素マッピング、電子状態解析が可能
| 設置場所 | 伊都・CE21 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
30,60,80,120,200 | |
| 電子銃 | C-FEG*² | |
| TEM像分解能(nm) | 0.11 point 0.10 lattice |
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| STEM | 最小プローブ径 | 0.1 nm |
| HAADF | 〇 | |
| ABF | 〇 | |
| XEDS | 検出器の種類 | SDD |
| 立体角 | 2.0 sr | |
| エネルギー分解能 | 130 eV | |
| EELS型 | Gatan Imaging Filter | |
| 3Dトモグラフィ | ○ | |
| 試料傾斜角（度） | X,Y:±25 | |
| 収束電子回折 | 〇 | |
| 備 考 | 照射系＋結像系 二段収差補正 |
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