補助電子顕微鏡EX
JEM-2000EX

設置場所		伊都・CE21
加速電圧 最低- 最高 (kV)		80-200
電子銃		W
TEM像分解能(nm)		0.35 point
STEM	最小プローブ径	－
	HAADF	－
	ABF	－
XEDS	検出器の種類	－
	立体角	－
	エネルギー分解能	－
EELS型		－
3Dトモグラフィ		－
試料傾斜角（度）		X:±45 Y:±30
収束電子回折		－
備　考

対応ホルダー一覧（PDF）