3次元観察用電子分光型電子顕微鏡

3次元観察用電子分光型電子顕微鏡
JEM-3200FSK

3次元観察用電子分光型電子顕微鏡 JEM-3200FSK 熱電界放射電子銃、オメガ型電子エネルギー分光フィルターとエネルギー分散型X線検出器を搭載。
非対称対物レンズポールピースを内蔵しており、視野カットがない暗視野像観察が可能。
透過像による3次元トモグラフィ解析(全方位傾斜可能)のほか、X線分光・電子分光による元素分布・状態解析、加熱、冷却(液体窒素)実験が可能。
設置場所 伊都・CE21
加速電圧
最低- 最高 (kV)
300
電子銃 T-FEG*¹
TEM像分解能(nm) 0.26 point
0.14 lattice
STEM 最小プローブ径 4 nm
HAADF
ABF
XEDS 検出器の種類 Si(Li)
立体角 0.22 sr
エネルギー分解能 140 eV
EELS型 Ω型
3Dトモグラフィ
試料傾斜角(度) X:±70
Y:±30
収束電子回折
備 考  

対応ホルダー一覧(PDF)

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