3次元観察用電子分光型電子顕微鏡
3次元観察用電子分光型電子顕微鏡
JEM-3200FSK
熱電界放射電子銃、オメガ型電子エネルギー分光フィルターとエネルギー分散型Ｘ線検出器を搭載。 非対称対物レンズポールピースを内蔵しており、視野カットがない暗視野像観察が可能。
透過像による３次元トモグラフィ解析（全方位傾斜可能）のほか、Ｘ線分光・電子分光による元素分布・状態解析、加熱、冷却（液体窒素）実験が可能。
| 設置場所 | 伊都・CE21 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
300 | |
| 電子銃 | T-FEG*¹ | |
| TEM像分解能(nm) | 0.26 point 0.14 lattice |
|
| STEM | 最小プローブ径 | 4 nm |
| HAADF | － | |
| ABF | － | |
| XEDS | 検出器の種類 | Si(Li) |
| 立体角 | 0.22 sr | |
| エネルギー分解能 | 140 eV | |
| EELS型 | Ω型 | |
| 3Dトモグラフィ | ○ | |
| 試料傾斜角（度） | X:±70 Y:±30 |
|
| 収束電子回折 | － | |
| 備 考 | ||