デジタル電子顕微鏡
デジタル電子顕微鏡
TECNAI-20
操作性に優れた汎用的な分析電子顕微鏡．一般的な電子顕微鏡観察のほか、STEM元素マッピング、3次元トモグラフィ、加熱・冷却（液体窒素）その場観察用試料ホルダー有り
| 設置場所 | 伊都・CE21 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
100-200 | |
| 電子銃 | LaB6 | |
| TEM像分解能(nm) | 0.24 point | |
| STEM | 最小プローブ径 | 2 nm |
| HAADF | ||
| ABF | ||
| XEDS | 検出器の種類 | Si(Li) |
| 立体角 | 0.13 sr | |
| エネルギー分解能 | 140 eV | |
| EELS型 | なし | |
| 3Dトモグラフィ | ○ | |
| 試料傾斜角（度） | X:±80 Y:±25 |
|
| 収束電子回折 | 〇 | |
| 備 考 | ||