ローレンツ電子顕微鏡
ローレンツ電子顕微鏡
TECNAI G2-F20
電界放射電子銃とエネルギー分散型Ｘ線検出器を搭載した分析電子顕微鏡．STEM像(BF, HAADF)観察、STEM元素マッピングやSTEMによる結晶性材料の3次元トモグラフィー解析が可能．
またローレンツ電顕法による磁性材料の磁区観察
| 設置場所 | 筑紫・総理工C棟 | |
|---|---|---|
| 加速電圧 最低- 最高 (kV) |
100-200 | |
| 電子銃 | T-FEG*¹ | |
| TEM像分解能(nm) | 0.24 point | |
| STEM | 最小プローブ径 | 0.3 nm |
| HAADF | 〇 | |
| ABF | ||
| XEDS | 検出器の種類 | Si(Li) |
| 立体角 | 0.13 sr | |
| エネルギー分解能 | ||
| EELS型 | なし | |
| 3Dトモグラフィ | ○ | |
| 試料傾斜角（度） | X:±80 Y:±30 |
|
| 収束電子回折 | 〇 | |
| 備 考 | ||